薄膜晶体管基板及其制作方法、显示器

摘要

本发明提供一种薄膜晶体管基板及其制作方法、显示器，该方法包括：于基板上依序形成一栅极、一覆盖栅极的栅绝缘层、一主动材料层、与一感光材料层；利用一半调式掩膜进行一微影工艺，以形成一感光保护层，感光保护层位于栅极上方且具有一第一凹槽与一第二凹槽；以感光保护层为掩膜刻蚀主动材料层，以形成一主动层；移除第一凹槽与第二凹槽底部的感光保护层，以分别暴露出主动层的一第一部分与一第二部分；形成一连接第一部分的第一电极；以及形成一连接第二部分的第二电极。

主权项

一种薄膜晶体管基板的制作方法，其特征在于，所述薄膜晶体管基板的制作方法包括：提供一基板；于所述基板上形成一栅极；于所述基板上形成一覆盖所述栅极的栅绝缘层；于所述栅绝缘层上形成一主动材料层；于所述主动材料层上形成一感光材料层；利用一半调式掩膜对所述感光材料层进行一微影工艺，以图案化所述感光材料层而形成一感光保护层，所述感光保护层位于所述栅极上方且具有未贯穿所述感光保护层的一第一凹槽与一第二凹槽，所述第一凹槽邻近所述感光保护层的外缘并呈U形，所述第二凹槽自所述感光保护层的外缘向所述感光保护层的内侧延伸，且所述第一凹槽围绕所述第二凹槽；以所述感光保护层为掩膜刻蚀所述主动材料层，以形成一主动层；移除所述第一凹槽与所述第二凹槽底部的所述感光保护层，以分别暴露出所述主动层的一第一部分与一第二部分；形成一连接所述第一部分的第一电极；以及形成一连接所述第二部分的第二电极，其中所述第一电极为一源极与一源极其中之一，所述第二电极为所述源极与所述源极其中之另一。