一种TiAlN复合涂层及其设有该涂层的刀具的制备方法

摘要

一种TiAlN多层涂层，该涂层是以“Ti_1-xAl_xN到Ti_1-yAl_yN到Ti_1-zAl_zN”为一个周期的多层涂层。制备方法为：采用物理气相沉积的方法沉积一层TiAl过渡层，然后沉积一层Ti_1-xAl_xN的基底层，再在Ti_1-xAl_xN的基底层上循环沉积以“Ti_1-xAl_xN到Ti_1-yAl_yN到Ti_1-zAl_zN”为周期的多层涂层，直至复合涂层的总厚度达到1μm～10μm，其中，0.5≤x<y<z≤1。本发明的多层涂层与基体结合紧密、具有高硬度、高强度、特别是高的抗氧化能力。

主权项

一种TiAlN多层涂层，其特征在于：依次包括TiAl过渡层、Ti_1‑xAl_xN的基底层、至少一层循环沉积层，TiAl金属层的厚度为10‑80nm；每个所述循环沉积层包括Ti_1‑xAl_xN层、Ti_1‑yAl_yN层、Ti_1‑zAl_zN层，其中，所述Ti_1‑xAl_xN层的单层厚度为2‑50nm，所述Ti_1‑yAl_yN层的单层厚度为2‑10nm，所述Ti_1‑zAl_zN层的单层厚度为2‑6nm；Ti_1‑xAl_xN层、Ti_1‑yAl_yN层、Ti_1‑zAl_zN层顺序排列和组合，涂层的总复合厚度为1‑10μm，0.5≤x<y<z≤1.0；或者x<y<z，且0.5≤x≤0.6，0.6≤y≤0.8；0.7≤z≤1.0。