一种提高氮化硅材料性能一致性的烧结方法

摘要

本发明涉及一种提高氮化硅材料性能一致性的烧结方法，包括以下步骤：A、氮化硅原料中加入氧化镁与氧化镧，配成混合物料，混合物料经过湿法混合、细化处理后干燥；B、将步骤A处理好的原料装入金属模，采用先机械干压，然后再密封，进行冷等静压成型，制备所要求形状的素坯；C、将步骤B制备的素坯，装入气压烧结炉，进行气压烧结；D、对步骤C烧结后的毛坯外形粗加工，保障材料外形尺寸的一致性，然后包裹上石墨纸，装入预先设计好的和步骤C烧结后的毛坯外形尺寸一致的石墨模具内，再进行热压烧结，得到材料性能一致性高的氮化硅。与现有技术相比，本发明具有低成本、材料离散性小、操作简单、利于工业化生产等优点。

主权项

一种提高氮化硅材料性能一致性的烧结方法，其特征在于，包括以下步骤：A、原料的准备：氮化硅原料中加入氧化镁与氧化镧，配成混合物料，氧化镁的质量为混合物料质量的8～10％，氧化镧的质量为混合物料质量的5～10％，混合物料经过湿法混合、细化处理后干燥；B、素坯成型：将步骤A处理好的原料装入金属模，采用先机械干压，然后再密封，进行冷等静压成型，制备所要求形状的素坯；C、气压烧结：将步骤B制备的素坯，装入气压烧结炉，进行气压烧结；D、热压烧结：对步骤C烧结后的毛坯外形粗加工，保障材料外形尺寸的一致性，然后包裹上石墨纸，装入预先设计好的和步骤C烧结后的毛坯外形尺寸一致的石墨模具内，再进行热压烧结，得到材料性能一致性高的氮化硅。