发明名称 半导体检查用的耐热性粘合片
摘要 本发明提供一种半导体检查用的耐热性粘合片,其在加热时不会轻易发生粘合片变形或粘着剂层软化,为在加热半导体芯片的同时进行性能检查工序所使用的粘合片,由在基材上设有粘着剂层而成;所述基材在150℃下加热30分钟后的热收缩率低于1%,且60℃~150℃下的线膨胀系数为5.0×10<sup>-5</sup>/K以下;所述粘着剂层包含(甲基)丙烯酸共聚物、光聚合性化合物、多官能异氰酸酯硬化剂以及光聚合起始剂;对100重量的所述(甲基)丙烯酸共聚物,所述光聚合性化合物为5~200质量份,所述多官能异氰酸酯硬化剂为0.5~20质量份,所述光聚合起始剂为0.1~20质量份,且所述粘着剂层不包含增粘树脂。优选地,所述粘着剂层包含硅氧烷类接枝共聚物。
申请公布号 CN105264034A 申请公布日期 2016.01.20
申请号 CN201480031649.8 申请日期 2014.06.10
申请人 电化株式会社 发明人 中岛刚介;津久井友也
分类号 C09J7/02(2006.01)I;C09J11/06(2006.01)I;C09J133/06(2006.01)I;C09J175/04(2006.01)I;C09J183/10(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I 主分类号 C09J7/02(2006.01)I
代理机构 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人 黄志华
主权项 一种半导体检查用的耐热性粘合片,为在加热半导体芯片的同时进行性能检查的工序中所使用,所述粘合片为在基材上设有粘着剂层而成,其特征在于,所述基材在150℃下加热30分钟后的热收缩率低于1%,且60℃~150℃下的线膨胀系数为5.0×10<sup>‑5</sup>/K以下,且所述粘合片的所述粘着剂层包含(甲基)丙烯酸共聚物、光聚合性化合物、多官能异氰酸酯硬化剂以及光聚合起始剂;对100质量份的所述(甲基)丙烯酸共聚物,所述光聚合性化合物为5~200质量份,所述多官能异氰酸酯硬化剂为0.5~20质量份,所述光聚合起始剂为0.1~20质量份,且所述粘着剂层不包含增粘树脂。
地址 日本东京