发明名称 |
半导体检查用的耐热性粘合片 |
摘要 |
本发明提供一种半导体检查用的耐热性粘合片,其在加热时不会轻易发生粘合片变形或粘着剂层软化,为在加热半导体芯片的同时进行性能检查工序所使用的粘合片,由在基材上设有粘着剂层而成;所述基材在150℃下加热30分钟后的热收缩率低于1%,且60℃~150℃下的线膨胀系数为5.0×10<sup>-5</sup>/K以下;所述粘着剂层包含(甲基)丙烯酸共聚物、光聚合性化合物、多官能异氰酸酯硬化剂以及光聚合起始剂;对100重量的所述(甲基)丙烯酸共聚物,所述光聚合性化合物为5~200质量份,所述多官能异氰酸酯硬化剂为0.5~20质量份,所述光聚合起始剂为0.1~20质量份,且所述粘着剂层不包含增粘树脂。优选地,所述粘着剂层包含硅氧烷类接枝共聚物。 |
申请公布号 |
CN105264034A |
申请公布日期 |
2016.01.20 |
申请号 |
CN201480031649.8 |
申请日期 |
2014.06.10 |
申请人 |
电化株式会社 |
发明人 |
中岛刚介;津久井友也 |
分类号 |
C09J7/02(2006.01)I;C09J11/06(2006.01)I;C09J133/06(2006.01)I;C09J175/04(2006.01)I;C09J183/10(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I |
主分类号 |
C09J7/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 |
代理人 |
黄志华 |
主权项 |
一种半导体检查用的耐热性粘合片,为在加热半导体芯片的同时进行性能检查的工序中所使用,所述粘合片为在基材上设有粘着剂层而成,其特征在于,所述基材在150℃下加热30分钟后的热收缩率低于1%,且60℃~150℃下的线膨胀系数为5.0×10<sup>‑5</sup>/K以下,且所述粘合片的所述粘着剂层包含(甲基)丙烯酸共聚物、光聚合性化合物、多官能异氰酸酯硬化剂以及光聚合起始剂;对100质量份的所述(甲基)丙烯酸共聚物,所述光聚合性化合物为5~200质量份,所述多官能异氰酸酯硬化剂为0.5~20质量份,所述光聚合起始剂为0.1~20质量份,且所述粘着剂层不包含增粘树脂。 |
地址 |
日本东京 |