加工装置

摘要

本发明的加工装置具有卡盘台、加工单元、摄像单元和加工进给单元，该摄像单元包含：照相机，其拍摄被加工物；频闪光源，其向该照相机的摄像区域照射频闪光；对焦点移动部，其使该照相机的对焦点接近和远离被加工物；控制部，其一边使该对焦点移动部动作使该照相机的对焦点接近和远离被加工物，一边以预定的间隔照射频闪光，使该照相机与该频闪光的照射同步地连续拍摄多个图像；映射图生成存储部，其根据用该照相机拍摄的多个图像运算构成图像的多个像素的微分值的总和，生成对该照相机的高度位置与微分值的总和进行了关联的映射图并进行存储；以及对焦点确定部，其从存储在该映射图生成存储部中的映射图选择微分值的最大值，并确定对焦点的位置。

主权项

一种加工装置，其具有：保持被加工物的卡盘台；对保持于该卡盘台的被加工物实施加工的加工单元；拍摄被该卡盘台保持的被加工物的摄像单元；以及对该卡盘台和该加工单元进行相对加工进给的加工进给单元，该加工装置的特征在于，该摄像单元具有：照相机，其拍摄被加工物；频闪光源，其向该照相机的摄像区域照射频闪光；对焦点移动部，其使该照相机的对焦点接近和远离被加工物；控制部，其在不使该照相机的对焦点阶段性停止的情况下使该照相机连续移动，一边使该对焦点移动部动作而使该照相机的对焦点接近和远离被加工物，一边以预定的间隔照射频闪光，使该照相机与该频闪光的照射同步地连续拍摄多个图像；映射图生成存储部，其根据用该照相机拍摄的多个图像运算构成图像的多个像素的微分值的总和，生成映射图并进行存储，该映射图是对该照相机的高度位置与微分值的总和进行关联而得到的；以及对焦点确定部，其从存储在该映射图生成存储部中的映射图选择微分值的最大值，并确定对焦点的位置。