电子部件、其制造方法和具备电子部件的电子器件

摘要

本发明提供一种电子部件，其具备：设置于压电基板（10）的串联谐振子（12）和并联谐振子（14）；设置于压电基板（10）上的、与串联谐振子（12）和并联谐振子（14）电连接的信号配线（20）；金属板（28），在串联谐振子（12）和并联谐振子（14）的梳型电极（18）的电极指上具有空腔（32），该金属板（28）以覆盖空腔（32）的上面的方式设置；设置于压电基板（10）上不位于信号配线（20）上的部分，支承金属板（28）的支承柱（30）；和覆盖金属板（28）和支承柱（30），并且与空腔（32）的侧面接触的绝缘部（34）。

主权项

一种电子部件，其特征在于，具备：设置于基板上的元件；设置于所述基板上的、将所述元件和外部电连接的、包括输入端子和输出端子的连接端子；设置于所述基板上的、将所述元件的功能部与所述输入端子、所述元件的功能部彼此和所述元件的功能部与所述输出端子电连接的信号配线；在所述元件的功能部上具有空腔，以覆盖所述空腔的上面的方式设置的金属板；在所述基板上，不设置在所述信号配线上而在不位于所述信号配线上的部分设置的、支承所述金属板的支承柱；和覆盖所述金属板和所述支承柱，并且与所述空腔的侧面接触的绝缘部。