一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置

摘要

一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置属于光刻投影物镜中物镜的吊装和运输领域，目的在于提出一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置，解决现有技术在物镜起吊和运输过程中存在的物镜振动冲击和倾斜问题。本发明的一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置包括吊装板和吊装杆；三个所述吊装杆的一端分别与所述吊装板连接；所述吊装杆包括上吊装杆、下吊装杆和自平衡调节器；所述上吊装杆一端与所述吊装板固定连接，另一端与长度可调的自平衡调节器一端连接，所述自平衡调节器另一端与所述下吊装杆一端连接；所述自平衡调节器内部包括压缩弹簧，所述压缩弹簧设置在所述自平衡调节器与所述上吊装杆连接处。

主权项

一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置，其特征在于，包括吊装板(1)和吊装杆；三个所述吊装杆的一端分别与所述吊装板(1)连接；所述吊装杆包括上吊装杆(2)、下吊装杆(3)和自平衡调节器(4)；所述上吊装杆(2)一端与所述吊装板(1)固定连接，另一端与长度可调的自平衡调节器(4)一端连接，所述自平衡调节器(4)另一端与所述下吊装杆(3)一端连接；所述自平衡调节器(4)内部包括压缩弹簧(4‑2)，所述压缩弹簧(4‑2)设置在所述自平衡调节器(4)与所述上吊装杆(2)连接处。