发明名称 |
一种微波裂片设备 |
摘要 |
本实用新型公开了一种微波裂片设备,属于微波裂片技术领域。该设备包括硅片传送室、硅片预热腔室、硅片恒温室、微波裂片室、硅片冷却室和硅片分选区;利用本实用新型设备进行TM制程的微波裂片时,通过启动测温系统监测加热腔室内的温度,并通过控制系统控制及调节加热腔室内的温度,使微波裂片过程中各阶段的温度能够精确控制,满足硅片裂片的实际温度要求,保证制备出高质量的硅片。 |
申请公布号 |
CN204991659U |
申请公布日期 |
2016.01.20 |
申请号 |
CN201520554439.9 |
申请日期 |
2015.07.28 |
申请人 |
沈阳硅基科技有限公司 |
发明人 |
柳清超;毛俭;刘洋 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 |
代理人 |
许宗富;周秀梅 |
主权项 |
一种微波裂片设备,其特征在于:该设备包括硅片传送室、硅片预热腔室、硅片恒温室、微波裂片室、硅片冷却室和硅片分选区;其中:硅片传送室:机械手从硅片盒中取出硅片,同时机械手扫描硅片数目及位置,然后把硅片竖直放在传送室内的石英舟上,再将装载硅片的石英舟传送至硅片预热腔室;硅片预热腔室:用于对石英舟上硅片的预热;硅片恒温室:装载硅片的石英舟通过机械手传输至硅片恒温室后,对硅片进行恒温加热;微波裂片室:装载硅片的石英舟由机械手从硅片恒温室传输至微波裂片室,通过微波加热对硅片进行微波裂片;硅片冷却室:装载硅片的石英舟由机械手从微波裂片室传输至硅片冷却室,对硅片进行冷却处理;硅片分选区:机械手将装载硅片的石英舟从硅片冷却室传送至硅片分选区,选择SOI放在一个盒内,选择SOI对片放在另一个盒内。 |
地址 |
110179 辽宁省沈阳市沈阳出口加工区浑南东路15-22号 |