氧化物烧结体以及对其进行加工而得到的片体

摘要

本发明提供一种离子镀用片体、以及用于获得该离子镀用片体的氧化物烧结体，该离子镀用片体可对适于太阳能电池的透明导电膜进行高速成膜，且可以在不引起裂纹、破裂或者喷溅的状态下继续成膜。本发明提供一种氧化物烧结体等，其含有氧化铟作为主要成分，并含有钨作为添加元素，钨的含量以W/(In＋W)的原子数比计为0.001～0.15，其特征在于，该氧化物烧结体主要由下述晶粒构成：由没有固溶钨的方铁锰矿型结构的氧化铟相构成的晶粒(A)、以及由固溶有钨的方铁锰矿型结构的氧化铟相构成的晶粒(B)，且该氧化物烧结体的密度为3.4～5.5g/cm³。

主权项

一种氧化物烧结体，其含有氧化铟作为主要成分，并含有钨作为添加元素，钨的含量以W/(In+W)的原子数比计为0.001～0.15，其特征在于，该氧化物烧结体主要由下述晶粒构成：由没有固溶钨的方铁锰矿型结构的氧化铟相构成的晶粒(A)、由固溶有钨的方铁锰矿型结构的氧化铟相构成的晶粒(B)、以及对SEM‑EDS的图像进行解析的情况下相对于全部晶粒的面积比为5％以下的由氧化钨相构成的晶粒(D)，但是不含有锡，且该氧化物烧结体的密度为3.4～5.5g/cm³。