界定剂量环围温度及压力蒸气沉积系统

摘要

一种用以传送在液体化学品中的有效成份至一化学蒸气沉积系统的封闭化学品导入系统，包括含有一界定剂量的液体化学品的一坚固、无水分筒匣。该筒匣是放在特别构形成收纳该筒匣的一安装槽孔上。在启动该系统后，一第一线性机械致动器确实地保持该筒匣在该槽孔中，同时附加在一第二线性机械致动器上的一抽取矛由底部刺穿该筒匣，抽取该液体化学品且将它传送至一蒸发室。该蒸发室蒸发该液体化学品且传送含有该有效成份的蒸气至该化学蒸气沉积系统。该化学蒸气沉积系统可包括一处理腔室，一输送器，用以在该腔室内提供分开处理隔室的一压缩清洁空气系统，一加湿系统，一化学蒸气系统，及用以中和有害副产物的一中和系统。

主权项

一种用于在一基材上的一化学蒸气沉积程序的化学品导入系统，包含：一密封筒匣，其含有用于该化学蒸气沉积程序的一界定剂量的液体化学品；一安装槽孔，组配成收纳该密封筒匣；一上线性机械致动器，可以一垂直方向移动以便在启动该系统时确实地保持该密封筒匣在该安装槽孔中；一抽取矛，附接在可以一垂直方向移动的一下线性机械致动器上，其中该下机械致动器在启动该系统时使该矛上升以刺穿该密封筒匣且抽吸该液体化学品；一化学品收集块，用以收集该液体化学品；及一蒸发隔室，组配成蒸发由该化学品收集块接收的该液体化学品且载送在该等蒸气中的有效成份至一化学蒸气沉积系统的一处理腔室。