INSPECTION APPARATUS AND INSPECTION METHOD

摘要

이 검사 장치(100, 200)는 검사 대상 부위(120, 200)의 높이 정보를 취득가능한 3차원 계측부(42, 43)와, 색상, 채도, 명도 중 적어도 1개의 정보를 취득가능한 2차원 계측부(41, 43)와, 3차원 계측을 행함과 아울러 3차원 계측 결과에 의거하여 검사 대상 부위를 검사하는 검사 영역(140, 240)을 보정하고, 보정된 검사 영역에 있어서 2차원 계측을 행하는 제어부(51)를 구비한다.