发明名称 METHOD FOR FABRICATING THIN FILM SOLAR CELL
摘要 본 발명은 박막 태양전지 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 박막 태양전지 제조방법은, 기판 위에 제1 분리부를 사이에 두고 이격되는 투명전극을 형성하는 단계; 상기 투명전극을 포함한 기판 전면에 반도체층을 형성하는 단계; 상기 반도체층의 소정영역을 제거하여 제2 분리부를 형성하는 단계; 상기 제2 분리부를 포함한 반도체층 상에 금속도전층을 형성하는 단계; 및 상기 기판 배면을 통해 레이저를 조사함과 동시에, 상기 레이저와 대응되는 반대 방향에서 상기 금속도전층의 소정영역에 저온의 기체 또는 액체를 분사하여 금속전극을 형성하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
申请公布号 KR101586676(B1) 申请公布日期 2016.01.20
申请号 KR20090100887 申请日期 2009.10.22
申请人 엘지디스플레이 주식회사 发明人 심경진;김기용;박원서;김해열;이정우;박성기
分类号 H01L31/0445 主分类号 H01L31/0445
代理机构 代理人
主权项
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