一种压电-电液混合驱动臂及其控制方法

摘要

本发明公开了一种压电-电液混合驱动臂及其控制方法，属于驱动臂技术领域。本发明包括工业计算机、功率放大器、光栅传感器、压电驱动器、连接杆和输出杆，它还包括液压缸、三位四通电液伺服阀、液压泵和油箱；缸体内水平方向的活塞杆自由端固定有压电驱动器，该压电驱动器内设置有位移传感器，压电驱动器另一端与输出杆连接；光栅传感器的标尺光栅固定安装在液压缸的缸体上，光栅传感器的指示光栅经连接杆安装在输出杆上；光栅传感器、压电驱动器均与工业计算机连接，所述的工业计算机通过所述的功率放大器与所述的位移传感器连接。本发明的技术方案可以有效实现驱动臂的高精度定位要求且同时满足当代精密加工和精密测量的技术需求。

主权项

一种压电‑电液混合驱动臂，它包括工业计算机(1)、功率放大器(2)、光栅传感器(7)、压电驱动器(4)、连接杆(5)和输出杆(3)，其特征在于，它还包括液压缸(8)、三位四通电液伺服阀(9)、液压泵(10)和油箱(11)；所述的液压缸(8)的缸体位置固定，缸体内水平方向的活塞杆自由端固定有压电驱动器(4)，该压电驱动器(4)内设置有位移传感器(6)，所述的压电驱动器(4)另一端与输出杆(3)连接；所述的光栅传感器(7)的标尺光栅固定安装在液压缸(8)的缸体上，光栅传感器(7)的指示光栅经连接杆(5)安装在输出杆(3)上；所述的光栅传感器(7)、压电驱动器(4)均与工业计算机(1)的输入端连接，所述的工业计算机(1)的输出端通过所述的功率放大器(2)与所述的压电驱动器(4)连接；所述的液压缸(8)的缸体内的左、右腔分别与所述的三位四通电液伺服阀(9)管道连接，所述三位四通电液伺服阀(9)的下端油路管道伸入油箱(11)，该油路管道上设置有液压泵(10)，所述的三位四通电液伺服阀(9)的电气R端和L端均与工业计算机(1)连接。