一种用于匹配器设备的空气电容结构

摘要

本发明涉及等离子刻蚀、淀积设备技术领域，具体涉及一种用于匹配器设备的空气电容结构。所述空气电容结构，包括电容片和连接所述电容片的连接杆，所述连接杆上固定设有连接柱，所述连接柱将镀银线圈与所述连接杆连接。本发明通过在空气电容的连接杆上设置连接柱，在等离子体工艺中实现通过空气电容的大电流分布均匀，有利于提高电容耐电流的能力，提高电容的容量范围，直接提高空气电容使用寿命，提升了匹配性的可靠性能，增加了整机设备的使用寿命。

主权项

一种用于匹配器设备的空气电容结构，其特征在于：包括电容片和连接所述电容片的连接杆，所述连接杆上固定设有连接柱，所述连接柱将镀银线圈与所述连接杆连接；所述连接柱与所述连接杆为一整体。