一种非球面紫外光刻物镜

摘要

本发明提出了一种非球面紫外光刻物镜，用于将物平面的图像成像到像平面内。该非球面紫外光刻物镜，沿其光轴方向包括透射组1、透射组2、透射组3、透射组4、透射组5和透射组6，从光束入射方向依次排布透射组1具有负光焦度，透射组2具有正光焦度，透射组3具有负光焦度，透射组4具有正光焦度，透射组5具有正光焦度，透射组6具有正光焦度，本发明的非球面紫外光刻物镜具有成像质量好，结构紧凑，较高的光刻效率等优点。

主权项

一种非球面紫外光刻物镜，在光轴上从物方到像方依次包括第一透射组、第二透射组、第三透射组、第四透射组、第五透射组和第六透射组，所有透射组均处于同一光轴，其特征在于，第一透射组具有负光焦度，第二透射组具有正光焦度，第三透射组具有负光焦度，第四透射组具有正光焦度，第五透射组具有正光焦度，第六透射组具有正光焦度；第一透射组包括第一平板保护窗口(1)、第一正透镜(2)、第一负透镜(3)、第二正透镜(4)和第二负透镜(5)；第二透射组包括第三正透镜(6)、第四正透镜(7)和第五正透镜(8)；第三透射组包括第三负透镜(9)、第六正透镜(10)和第四负透镜(11)；第四透射组包括第五负透镜(12)、第七正透镜(13)、第八正透镜(14)和第九正透镜(15)；第五透射组包括第六负透镜(16)、第十正透镜(17)和第十一正透镜(18)；第六透射组包括第十二正透镜(19)、第七负透镜(20)、第十三正透镜(21)、第十四正透镜(22)、第二平板保护窗口(23)和像面(24)。