| 发明名称 |
SELECTING REFERENCE LIBRARIES FOR MONITORING OF MULTIPLE ZONES ON A SUBSTRATE |
| 摘要 |
연마 모니터링 시스템을 구성하는 방법은, 복수의 라이브러리들을 선택하는 사용자 입력을 수신하는 단계로서, 상기 복수의 라이브러리들의 각 라이브러리는 연마 동안 측정된 스펙트럼들에 매칭시키는데 사용하기 위한 복수의 기준 스펙트럼들을 포함하고, 상기 복수의 기준 스펙트럼들의 각 기준 스펙트럼은 연관된 인덱스 값을 갖는, 상기 사용자 입력을 수신하는 단계, 기판의 제 1 구역에 대해, 상기 복수의 라이브러리들의 제 1 서브세트를 선택하는 사용자 입력을 수신하는 단계, 및 상기 기판의 제 2 구역에 대해, 상기 복수의 라이브러리들의 제 2 서브세트를 선택하는 사용자 입력을 수신하는 단계를 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR101587008(B1) |
申请公布日期 |
2016.01.20 |
| 申请号 |
KR20137005009 |
申请日期 |
2011.07.22 |
| 申请人 |
어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 |
发明人 |
퀴안, 준;스웨덱, 보거슬로, 에이.;이, 해리 큐.;데이비드, 제프리, 드루에;드한다파니, 시바쿠마르;오스터헬드, 토마스, 에이치. |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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