| 摘要 |
본 발명은 기판을 지지하는 이송암, 상기 이송암을 승강시키는 승강부, 상기 승강부를 지지하고, 상기 승강부를 수평 방향으로 회전시켜 상기 이송암을 수평 방향으로 회전시키는 제 1 회전부, 상기 제1회전부를 지지하고, 상기 기판을 이송시키기 위한 주행부, 및 상기 승강부를 상기 제1회전부의 상면에 수평한 상태로 회전시키기 위한 제2회전부를 포함하는 기판 이송장치에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 승강부를 절단하지 않고도 좁은 공간에서 보관 및 운반의 용이성을 향상시킬 수 있다. |
