三坐标测量机

摘要

本发明提供一种三坐标测量机(1)，其包括三坐标测量机主体(2)和控制装置(3)。三坐标测量机主体(2)包括具有测量触头的探测器(4)和用于驱动探测器(4)的驱动机构(5)。探测器(4)包括用于驱动测量触头的驱动部(43)。控制装置(3)包括第1测量部(321)和第2测量部(322)。第1测量部(321)用于测量受驱动部(43)驱动的测量触头的移动量。第1测量部(322)用于测量探测器(4)的移动量。并且，第2测量部(322)的测量精度低于第1测量部(321)的测量精度。

主权项

一种三坐标测量机，其包括具有探针的探测器和用于支承并驱动上述探测器的驱动机构，上述探针的顶端具有能在一定范围内移动的测量触头，该三坐标测量机基于上述测量触头的移动量和上述探测器的移动量来测量待测物，其特征在于，上述探测器包括通过向各轴方向驱动上述探针来驱动上述测量触头的测量触头驱动部，和用于检测上述探针在各轴方向上的移动量的探测器传感器，上述驱动机构包括用于检测上述探测器在轴方向的移动量的刻度传感器，上述三坐标测量机包括向上述测量触头驱动部和上述驱动机构输出用于驱动上述探针和上述探测器的位置指令的驱动控制部件，上述三坐标测量机还包括基于上述探测器传感器的检测结果来测量受上述测量触头驱动部驱动的上述测量触头在上述各轴方向上的移动量的第1测量部，和基于上述刻度传感器的检测结果来测量上述探测器的移动量的第2测量部。