供液装置

摘要

本发明的目的在于提供能够高精度且短时间地对从各个供液部供给到供液口的液体的供给量进行调节的供液装置。本发明涉及一种供液装置，用于将来自并联的多个供液部的液体供给到共同的供液处，其具备：检测从各个供液部供给到供液处的液体的供给量的供给量检测单元；调节来自各个供液部的液体的供给量的流量调节单元，并且具有：从各个供液部向供液处供给液体的通常运转控制；在该通常运转控制之前进行的、设定各个供液部的液体的上限供给量的上限供给量设定控制，在上限供给量设定控制中，在合并了各个供液部的推定供给量的状态下进行液体供给，并针对各个供液部检测实际供给量，根据检测出的各个供液部的实际供给量针对各个供液部设定通常运转控制的上限供给量。

主权项

一种供液装置，用于将来自并联的多个供液部的液体供给到共同的供液处，其特征在于，具备：检测从上述各个供液部供给到上述供液处的液体的供给量的供给量检测单元；以及调节来自上述各个供液部的液体的供给量的流量调节单元，并且具有：从上述各个供液部向上述供液处供给液体的通常运转控制；以及在该通常运转控制之前进行的、设定上述各个供液部的液体的上限供给量的上限供给量设定控制，在上述上限供给量设定控制中，在合并了上述各个供液部的推定供给量的状态下进行液体供给，并针对上述各个供液部检测实际供给量，根据检测出的上述各个供液部的实际供给量针对上述各个供液部设定上述通常运转控制下的上限供给量。