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一种基于静电场辅助的激光加工装置的加工工艺，其特征在于，所述的基于静电场辅助的激光加工装置包括：激光器(1)、集成激光头(2)，以及用于放置样品的运动平台(3)，其中，激光器(1)的输出端口与集成激光头(2)的入口同轴设置，集成激光头(2)的出光口位于运动平台(3)的上端；集成激光头(2)包括：圆柱形后端体(2‑1)，以及安装于圆柱形后端体(2‑1)前端的圆锥形前端体(2‑2)，圆柱形后端体(2‑1)与圆锥形前端体(2‑2)之间绝缘连接，圆柱形后端体(2‑1)中安装有用于聚焦激光束的激光束准直与聚焦系统，且圆柱形后端体(2‑1)的侧壁上开设有向圆柱形后端体(2‑1)中通入辅助气体的气体入口(2‑3)；圆锥形前端体(2‑2)上连接有直流电源(2‑4)的负极，直流电源(2‑4)的正极与样品连接；加工工艺包括以下步骤：1)调整激光器(1)与集成激光头(2)在同一轴线上；调整运动平台(3)，使样品上表面与集成激光头(2)端面间隙在0.2‑1.0mm范围内，激光光束焦点处在样品上表面；设定直流电源(2‑4)的电压值，并将直流电源(2‑4)的开关初始态设定为断开；2)打开辅助气体阀门，使得辅助气体通过气体入口(2‑3)进入圆柱形后端体(2‑1)，待气流稳定后接通直流电源(2‑4)，等待电场稳定后，激光器(1)开启，然后驱动运动平台(3)运动，最后完成加工；3)加工完成后，先停止运动平台(3)运动，再关闭激光器(1)，随后断开直流电源(2‑4)，最后关闭辅助气体阀门。 |
