晶圆级电容式加速度计自动测试系统

摘要

本发明公开晶圆级电容式加速度计自动测试系统，包括微处理器以及与微处理器相连的上位机，四个电容数字转换器、第一数模转换器、第二数模转换器、第一继电器与第二继电器；微处理器控制数模转换器与继电器，向电容式加速度计的其中两个固定电极上在不同时刻分别施加直流电压，产生静电力，模拟外界加速度，所述四个电容数字转换器由微处理器控制，并向微处理器发送所采集不同时刻的电容式加速度计的电容值，再由微处理器计算得出电容变化量，实现参数测试的目的，并判断出电容式加速度计的品质。

主权项

晶圆级电容式加速度计自动测试系统，包括微处理器以及与微处理器相连的上位机，其特征在于，所述系统还包括四个电容数字转换器、第一数模转换器、第二数模转换器、第一继电器与第二继电器；所述第一继电器与第二继电器分别由微处理器控制通断，微处理器的输出接口分别连接第一数模转换器与第二数模转换器的输入接口，第一数模转换器的输出接口连接第一继电器常开触点的一端，第二数模转换器的输出接口连接第二继电器常开触点的一端，第一继电器常开触点与第二继电器常开触点的另一端分别与电容式加速度计的两个固定电极相连，电容式加速度计的可动极板接地；所述四个电容数字转换器由微处理器控制，并向微处理器发送所采集电容式加速度计的电容值。