| 摘要 |
본 고안은 반도체 패키지용 어탯치 장치에 관한 것으로, 구체적으로는 어탯치 장치를 구성하는 픽업툴 중 콜렛샤프트와 콜렛바아 간의 결합 및 분리가 손쉽고 신속하게 이루어질 수 있도록 한 기술에 관한 것이다. 또한 콜렛샤프트와 콜렛바아 간의 결합 시 콜렛바아에 가해지는 가압력이 콜렛바아 둘레면 전체에 균일하게 작용 될 수 있도록 함으로써, 콜렛바아의 안정적인 고정 및 기울어짐 등의 현상이 발생 되지 않도록 한 기술에 관한 것이다. 그리고 콜렛바아이 분리 및 결합과정에서 가압부재를 별도로 작동시킬 필요없도록 함으로써 작업이 손쉬우며 가압부재의 분실 우려 등도 방지할 수 있도록 한 기술에 관한 것이다. 또한 픽업툴 외에 어탯치 장치를 구성하는 접착샤프트와 접착바아 간의 결합 및 분리가 손쉽고 신속하게 이루어질 수 있도록 한 기술에 관한 것이다. |
