一种CVD/CVI炉尾气处理装置

摘要

本发明公开了一种CVD/CVI炉尾气处理装置，由封装壳体、不锈钢钢管和尾气吸收剂组成，封装壳体上下端均有可以打开的密封缸盖，其内部有不锈钢夹层，不锈钢钢管镶嵌在不锈钢夹层上，并在其底部放置有一层或多层石墨碳毡，不锈钢钢管内部装满氯化氢气体吸收剂，水汽吸收剂均匀铺洒于封装壳体的底部。该发明提供了一种具有性能稳定，安全可靠、操作简单、维修方便、成本低廉等优点的尾气处理装置，更加适用于市场的需求。

主权项

一种CVD/CVI炉尾气处理装置，由封装壳体、不锈钢钢管和尾气吸收剂组成，其特征在于所述封装壳体底部的一侧设置有尾气导入口，封装壳体顶部的另一侧设置有尾气导出口，封装壳体内部有1～3层不锈钢夹层，夹层厚度为1cm～3cm，多根不锈钢钢管垂直管贯穿镶嵌在不锈钢夹层上，夹层与封装壳体间无缝隙，不锈钢钢管与夹层间无缝隙，不锈钢钢管镶嵌在不锈钢夹层上的数量为100～200根，在其底部放置有一层或多层石墨碳毡，不锈钢钢管内部装满氯化氢气体吸收剂。