涂敷膜形成装置和涂敷膜形成方法

摘要

本发明提供涂敷膜形成装置和涂敷膜形成方法。通过使用两个喷嘴提高基板的涂敷处理的生产节拍时间并抑制成本。涂敷膜形成装置包括：喷嘴保持部件(12)，其保持沿基板输送方向前后配置的第1喷嘴(16)和第2喷嘴(17)；喷嘴移动部件(11)，其使喷嘴保持部件沿基板输送方向移动；控制部件(40)，其进行第1喷嘴及上述第2喷嘴的驱动控制、上述喷嘴移动部件的驱动控制，上述控制部件控制上述喷嘴移动部件以便将上述第1喷嘴和上述第2喷嘴配置在基板输送路径上的同一个涂敷位置，并进行控制以便利用该喷嘴移动部件使上述喷嘴保持部件移动，利用配置在上述同一个涂敷位置的上述第1喷嘴和第2喷嘴中的任一个喷嘴向上述基板喷出处理液。

主权项

一种涂敷膜形成装置，其包括具有在基板的宽度方向上较长的狭缝状的喷出口的第1喷嘴和第2喷嘴，从上述第1喷嘴和第2喷嘴中的任意一个喷嘴的喷出口向在上述喷嘴的下方沿着基板输送路径输送的上述基板喷出处理液，在上述基板上形成规定的涂敷膜，其特征在于，该涂敷膜形成装置包括：喷嘴保持部件，其用于对沿着基板输送方向前后配置的上述第1喷嘴和第2喷嘴进行保持；喷嘴移动部件，其用于使上述喷嘴保持部件沿着基板输送方向移动；启动加注处理部，其通过使被喷出有从上述第1喷嘴、上述第2喷嘴中的任意一个喷嘴的喷出口喷出的规定量的处理液的启动加注辊旋转，对附着于该喷嘴的喷出口的处理液进行整理；启动加注移动部件，其用于使上述启动加注处理部沿着基板输送方向移动；第1待机部，其包括用于将附着在上述第1喷嘴的喷出口上的多余的抗蚀剂液清洗并去除的喷嘴清洗部和用于进行虚拟喷出的虚拟分配部；第1待机部移动部件，其用于使上述第1待机部沿着基板输送方向移动；第2待机部，其包括用于将附着在上述第2喷嘴的喷出口上的多余的抗蚀剂液清洗并去除的喷嘴清洗部和用于进行虚拟喷出的虚拟分配部；第2待机部移动部件，其用于使上述第2待机部沿着基板输送方向移动；以及控制部件，其用于进行上述第1喷嘴及上述第2喷嘴的驱动控制、上述喷嘴移动部件的驱动控制、上述启动加注移动部件的驱动控制、上述第1待机部移动部件的驱动控制、上述第2待机部移动部件的驱动控制，上述控制部件控制上述喷嘴移动部件，以便将上述第1喷嘴和上述第2喷嘴配置在基板输送路径上的同一个涂敷位置，上述控制部件进行控制，以便利用上述喷嘴移动部件使上述喷嘴保持部件移动，并针对配置在上述同一个涂敷位置的上述第1喷嘴和第2喷嘴中的任意一个喷嘴，控制上述启动加注移动部件来将上述启动加注处理部配置在一个喷嘴的下方，从而实施启动加注处理，另一方面，上述控制部件进行控制，以便针对另一个喷嘴，在上述另一个喷嘴所对应的待机部中，将附着在喷嘴的喷出口上的多余的抗蚀剂液清洗并去除，再进行虚拟喷出，上述控制部件进行控制，以便当上述一个喷嘴的启动加注处理完成时，使与上述另一个喷嘴对应的待机部退避，并控制上述启动加注移动部件来将上述启动加注处理部移动到上述另一个喷嘴的下方，从上述一个喷嘴的喷出口向上述基板喷出处理液，另一方面，上述控制部件进行控制，以便针对上述另一个喷嘴，通过配置在上述另一个喷嘴的下方的启动加注处理部实施启动加注处理。