填充冗余金属的方法及冗余金属填充模式查找表建立方法

摘要

本发明涉及电子设计自动化和半导体工艺制造技术领域，具体涉及一种填充冗余金属的方法。所述方法首先通过对多个互连结构进行几何参数表征、填充冗余金属并在填充后进行平坦性模拟和电容提取以建立冗余金属填充模式的填充查找表，然后对电路版图进行结构单元划分并提取结构单元的几何参数，根据结构单元的几何参数查询填充查找表，获得该结构单元的冗余金属填充模式。本发明还提供一种冗余金属填充模式查找表建立方法。采用本发明进行冗余金属填充不但同时满足了平坦性要求和电容要求，而且还将工作量集中在建立填充查找表过程中，从而减小了在真实设计中进行冗余金属填充时的工作量，以加快开发速度。

主权项

一种填充冗余金属的方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将电路版图划分成一个或多个结构单元；(2)提取所述结构单元的几何参数；(3)根据提取的所述结构单元的几何参数查询已建立的几何参数与冗余金属填充模式相对应的填充查找表，得到所述结构单元的冗余金属填充模式；所述步骤(3)具体包括：如果所述填充查找表中具有与所述结构单元的几何参数相一致的几何参数，则将所述相一致的几何参数的索引下的填充模式作为所述结构单元的填充模式；如果所述填充查找表中没有与所述结构单元的几何参数相一致的几何参数，则计算所述结构单元的几何参数与所述填充查找表中几何参数的偏差值，以所述填充查找表中与所述结构单元的几何参数偏差值最小的几何参数索引下的填充模式作为所述结构单元的填充模式。