主权项 |
一种3~5μm中红外波段Z‑扫描装置,其特征在于,所述装置包括:M100、光强采集模块:所述光强采集模块包括CaF<sub>2</sub>分光镜、CaF<sub>2</sub>束腰生成镜、第一探头、第二探头;所述CaF<sub>2</sub>分光镜与水平方向呈45°,将入射光分为透射光和反射光两束光;所述入射光为3~5μm中红外波段的激光光束;所述第一探头用于采集反射光光强,并将光强转换成电信号传送给扫描控制模块的扫描控制器;所述第二探头用于采集经CaF<sub>2</sub>束腰生成镜后入射到待测样品并从待测样品透过的透射光光强,并将光强转换成模拟电信号传送给控制模块的扫描控制器;M200、样品平台模块:所述样品平台模块包括用于放置待测样品电动平移台;M300、扫描控制模块:所述扫描控制模块中的扫描控制器与第一探头和第二探头直接相连,并将获得模拟电信号经中间件转换成数据处理模块能够处理的数据格式;M400、操作控制模块:所述操作控制模块能够完成的控制操作包括调节第一探头和第二探头的光谱响应范围、扫描控制器的扫描速度以及向单片机发送控制命令控制电动平移台的移动;M500、数据处理模块:接收数据包括单片机传来的关于电动平移台的位移数据、扫描控制模块获得的光强数据,所述光强数据包括反射光光强数据以及经待测样品的透射光光强数据。 |