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发明名称
摘要
申请公布号
NL6516911(A)
申请公布日期
1966.07.14
申请号
NL19650016911
申请日期
1965.12.24
申请人
发明人
分类号
C30B31/02;C30B31/06;H01L21/00;H01L21/22
主分类号
C30B31/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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