发明名称 一种用于III-V族化合物器件的键合结构
摘要 本发明公开了一种用于III-V族化合物器件的键合结构,包括第一金属粘结层和第二金属粘结层,其特征在于:所述第二金属粘结层内部植入纳米导热膜,所述纳米导热膜由所述第二金属合层完合包裹,其导热系数大于所述第二金属粘结层的导热系数,以达到低温键合的同时快速散热。本发明同时公开一种采用上述键合结构的发光二极管。
申请公布号 CN105261695A 申请公布日期 2016.01.20
申请号 CN201510744855.X 申请日期 2015.11.06
申请人 天津三安光电有限公司 发明人 蒙成;吴俊毅;陶青山;王笃祥
分类号 H01L33/64(2010.01)I 主分类号 H01L33/64(2010.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种用于III‑V族化合物器件的键合结构,包括第一金属粘结层和第二金属粘结层,其特征在于:所述第二金属粘结层内部植入纳米导热膜,所述纳米导热膜由所述第二金属合层完全包裹,其导热系数大于所述第二金属粘结层的导热系数,所述第二粘结层的材料具有足够低的硬度,以将所述纳米导热膜完全浸润,减小界面接触电阻。
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