带电粒子束照射装置

摘要

本发明的带电粒子束照射装置（1）具备：回旋加速器（3），对带电粒子进行加速来射出带电粒子束（P）；真空导管（7），将从回旋加速器（3）射出的带电粒子束（P）向照射喷嘴（5）传输；延长导管（10），在照射喷嘴（5）内配置于带电粒子束的行进线路上，内部填充有惰性气体，并且在入口及出口具有使带电粒子束（P）透射的卡普顿膜（13、14）；气体供给部（20），向延长导管（10）内供给氦气；扫描磁铁（12），配置于延长导管（10）周围，且扫描带电粒子束（P）；及泄漏阀（36），当延长导管（10）的内部压力在设定压力以上时，使延长导管（10）内的氦气泄漏到外部，其中，气体供给部（20）具有氦气供给量各不相同的供给管路A～C。

主权项

一种带电粒子束照射装置，其特征在于，具备：加速器，对带电粒子进行加速来射出带电粒子束；照射部，向被照射体照射所述带电粒子束；导管，向所述照射部传输从所述加速器射出的所述带电粒子束；筒体，在所述照射部内配置于所述带电粒子束的行进线路上，内部填充有惰性气体，并且在入口及出口具有使带电粒子束透射的粒子束透射薄膜；气体供给机构，向所述筒体内供给惰性气体；及泄漏阀，当所述筒体的内部压力在设定压力以上时，使所述筒体内的惰性气体泄漏到外部，所述气体供给机构具有气体容器以及连接所述气体容器与所述筒体的供给管路，该供给管路具有：气体容器侧管路，连接于所述气体容器；筒体侧管路，连接于所述筒体；以及惰性气体的供给量各不相同的多个管路，并列设置在所述气体容器侧管路与所述筒体侧管路之间，所述多个管路包括：压力维持用供给管路，用于将所述筒体的内部压力维持在预定值；调整用供给管路，用于调整所述筒体内的压力；及置换用供给管路，用于将所述筒体内的空气置换成惰性气体，所述调整用供给管路的惰性气体的供给量大于所述压力维持用供给管路的惰性气体的供给量，所述置换用供给管路的惰性气体的供给量大于所述调整用供给管路的惰性气体的供给量。