| 发明名称 | 一种安装及校准工具 | ||
| 摘要 | 一种安装及校准工具，解决了现有设备腔内零部件的安装、校准过程中的差异问题。该工具包括工具主体，在所述工具主体上面的两侧分别设有热盘传片位置触点及顶针高度触点；在所述工具主体的下面分别设有定位销及热盘与机械手间距触点。上述定位销设在工具主体下面的中心位置，而热盘与机械手间距触点则设在工具主体下面接近端头的位置。本实用新型可对热盘的传片位置、晶圆顶升机构高度及传片时机械手到热盘表面的间距进行校准，不依靠直尺刻度，可准确定位。主要应用于半导体薄膜沉积的应用技术领域。 | ||
| 申请公布号 | CN204991673U | 申请公布日期 | 2016.01.20 |
| 申请号 | CN201520455971.5 | 申请日期 | 2015.06.29 |
| 申请人 | 沈阳拓荆科技有限公司 | 发明人 | 柴智 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/68(2006.01)I |
| 代理机构 | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229 | 代理人 | 甄玉荃;霍光旭 |
| 主权项 | 一种安装及校准工具，其特征在于：该工具包括工具主体(1)，在所述工具主体(1)上面的两侧分别设有热盘传片位置触点(5)及顶针高度触点(2)；在所述工具主体(1)的下面分别设有定位销(4)及热盘与机械手间距触点(3)，上述定位销(4)设在工具主体(1)下面的中心位置，而热盘与机械手间距触点(3)则设在工具主体(1)下面接近端头的位置。 | ||
| 地址 | 110179 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1-1号三层 | ||