| 发明名称 |
REAGENT AND COMPOSITION OF RESIST |
| 摘要 |
광산 발생제의 산 발생을 향상시키는 시제 및 그런 시제를 함유하는 조성물이 설명된다. |
| 申请公布号 |
KR20160006721(A) |
申请公布日期 |
2016.01.19 |
| 申请号 |
KR20157034479 |
申请日期 |
2014.05.13 |
| 申请人 |
TOYO GOSEI CO., LTD. |
发明人 |
ENOMOTO SATOSHI |
| 分类号 |
G03F7/039;C08J7/16;G03F7/004;G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/039 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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