| 摘要 |
본 발명은 반도체 디바이스 테스트 장치 및 방법을 개시한 것으로서, 테스터 헤드의 내부에 제공된 수평 유지 유닛이 프로브 카드에 수직한 상하 방향으로 하중을 가하여 프로브 카드를 수평 상태로 유지시키는 것을 특징으로 가진다. 이러한 특징에 의하면, 프로브 카드의 탐침자들이 반도체 디바이스의 패드들에 콘택되는 위치가 패드 내의 중앙 영역에 일정하게 유지됨으로써, 반도체 디바이스 테스트 공정의 수율 손실을 줄이고, 생산성을 향상시킬 수 있는 반도체 디바이스 테스트 장치 및 방법을 제공할 수 있다. |
