| 摘要 |
노광 장치(1)는, 일축 방향을 따라 두께가 불균일한 기판(3)과 마스크(2)를 각각 지지하는 지지부(2S, 3S)와, 마스크(2)와 기판(3)의 사이에 배치된 마이크로렌즈 어레이(12)를 기판(3) 및 마스크(2)에 대하여 상대적으로 이동시키고, 부분 노광 영역(Ep)에 마스크 패턴의 일부를 결상시키며, 부분 노광 영역(Ep)을 일축 방향을 따라 주사하는 주사 노광 수단(10)과, 마스크(2)와 기판(3)의 간격(s)을 조정하는 마스크·기판 간격 조정 수단(20)과, 일축 방향을 따른 간격(s)을 부분 노광 영역(Ep)의 주사에 앞서 계측하는 마스크·기판 간격 계측 수단(30)과, 마스크·기판 간격 계측 수단(30)의 계측 결과와 주사 노광 수단(10)의 주사 위치에 근거하여 마스크·기판 간격 조정 수단(20)을 제어하고, 부분 노광 영역(Ep) 내의 간격(s)을 마이크로렌즈 어레이(12)의 결상 간격에 맞춘다. |
