ガラス積層体および電子デバイスの製造方法

摘要

本発明は、高温条件下の長時間処理の後であっても、ガラス基板を容易に剥離することができるガラス積層体を提供することを目的とする。本発明は、支持基板および支持基板上に配置されたメタルシリサイド、窒化物、炭化物、および炭窒化物からなる群から選択される少なくとも１種を含有する無機層を備える無機層付き支持基板と、無機層上に剥離可能に積層されたガラス基板と、を備えるガラス積層体に関する。