最適化された使用特性を有するスパッタターゲット

摘要

本発明は、金属酸化物性スパッタ材料を有するスパッタターゲットに関し、前記スパッタ材料は金属としてジルコニウム及びチタンを有し、かつ、少なくとも１の混合酸化物相を含む。