複数の導体を有する電気センサを介して電子ビームを監視するためのデバイス

摘要

本発明は、対象物(12)を電子ビーム(16)で照射するための照射装置(36)に関するものである。この照射装置(36)は、電子射出窓(20)を有する少なくとも1つの電子ビーム放射源(10)と、電子ビーム(16)の第1の線量制御パラメータを検出するための少なくとも1つのセンサデバイス(56)とを備える。電子ビーム放射源(10)は、電子射出窓(20)から放射された電子ビーム(16)がセンサデバイス(56)の感知領域(58)内を通り抜けるように、センサデバイス(56)を通過するように適合されている。前記センサデバイスが備える複数の導体(64)は、それぞれがセンサデバイス(56)の感知領域(58)に導体表面(68)を有し、導体表面(68)は前記電子ビーム(16)の電子に暴露されるように適合されている。本発明は方法にも関するものである。