| 摘要 |
インジウム元素、スズ元素及び亜鉛元素を含む酸化物焼結体からなるスパッタリングターゲットにおいて、前記酸化物焼結体は、Ｉｎ２Ｏ３（ＺｎＯ）ｍで表される六方晶層状化合物、ＩｎＸＯ３（ＺｎＯ）ｎで表される六方晶層状化合物、ＳｎＯ２で表されるルチル構造化合物、及びＺｎＳｎＯ３で表されるイルメナイト構造化合物から選ばれる１以上と、Ｚｎ２ＳｎＯ４で表されるスピネル構造化合物を含み、スピネル構造化合物の凝集物が全体の５％以下であるスパッタリングターゲット。（式中、Ｘはインジウム元素及び亜鉛元素と共に六方晶層状化合物を形成することができる金属元素であり、ｍは１以上の整数であり、ｎは１以上の整数である。） |
