| 主权项 |
一种基板处理装置，其特征在于包含：基板保持单元，其包含台状之基座部，且于上述基座部之上方水平保持基板；喷嘴，其自前端部喷出处理流体；喷嘴移动单元，其接收控制信号，并根据该控制信号使上述喷嘴沿水平方向移动；输入部，其被输入与上述喷嘴之移位量相关之资讯；动作控制单元，其根据向上述输入部输入之资讯发送控制信号而控制上述喷嘴移动单元之动作；治具，其可对上述基座部之周端部装卸；及设定单元，其根据藉由上述治具取得之拍摄结果，设定使上述喷嘴之移位量与上述控制信号之指示值对应之动作规则；且上述治具包含：摄像部，其于上述治具安装于上述周端部之安装状态下以水平方向为拍摄方向；及刻度尺部，其包含绘制有距离指标之刻度尺面，且上述刻度尺面与上述摄像部隔开可供上述喷嘴之上述前端部插入之间隔而对向配置；且于上述前端部插入上述摄像部与上述刻度尺面之间、且上述前端部相对于上述刻度尺面而定位之状态下，上述摄像部拍摄上述前端部及上述刻度尺面。
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