具有多层堆叠之极紫外线反射元件及其制造方法

摘要

制造极紫外线反射元件的设备和方法，极紫外线反射元件包括基板；多层堆叠，位于基板上，多层堆叠包括复数个反射层对，反射层对具有由矽形成的第一反射层和由铌或碳化铌形成的第二反射层，用以形成布拉格反射镜；及覆盖层，位于多层堆叠上和上面，藉以减少氧化及机械侵蚀而保护多层堆叠。

主权项

一种制造一极紫外线反射元件的方法，包含以下步骤：提供一基板；在该基板上形成一多层堆叠，该多层堆叠包括复数个反射层对，该等反射层对具有由矽形成的一第一反射层和由铌或碳化铌形成的一第二反射层，用以形成一布拉格反射镜；及形成一覆盖层至该多层堆叠上和上面，藉以减少氧化及机械侵蚀而保护该多层堆叠。