发明名称 保护膜形成用复合片
摘要 明的保护膜形成用复合片3系具有支持片4以及积层于支持片4的第1面侧之保护膜形成膜1,支持片4的第2面之算术平均粗度(Ra1)为0.2μm以上,将支持片4以130℃加热2小时后,支持片4的第2面之算术平均粗度(Ra2)为0.25μm以下。
申请公布号 TW201602303 申请公布日期 2016.01.16
申请号 TW104116042 申请日期 2015.05.20
申请人 琳得科股份有限公司 发明人 佐伯尙哉;山本大辅;米山裕之;稻男洋一
分类号 C09J7/02(2006.01);B32B7/02(2006.01);H01L21/683(2006.01);H01L21/301(2006.01);H01L23/48(2006.01) 主分类号 C09J7/02(2006.01)
代理机构 代理人 赖正健;陈家辉
主权项 一种保护膜形成用复合片,系具有支持片、以及积层于前述支持片的第1面侧的保护膜形成膜;前述支持片的第2面之算术平均粗度(Ra1)为0.2μm以上;将前述支持片以130℃加热2小时后,前述支持片的第2面之算术平均粗度(Ra2)为0.25μm以下。
地址 日本