发明名称 |
保护膜形成用复合片 |
摘要 |
明的保护膜形成用复合片3系具有支持片4以及积层于支持片4的第1面侧之保护膜形成膜1,支持片4的第2面之算术平均粗度(Ra1)为0.2μm以上,将支持片4以130℃加热2小时后,支持片4的第2面之算术平均粗度(Ra2)为0.25μm以下。
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申请公布号 |
TW201602303 |
申请公布日期 |
2016.01.16 |
申请号 |
TW104116042 |
申请日期 |
2015.05.20 |
申请人 |
琳得科股份有限公司 |
发明人 |
佐伯尙哉;山本大辅;米山裕之;稻男洋一 |
分类号 |
C09J7/02(2006.01);B32B7/02(2006.01);H01L21/683(2006.01);H01L21/301(2006.01);H01L23/48(2006.01) |
主分类号 |
C09J7/02(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
赖正健;陈家辉 |
主权项 |
一种保护膜形成用复合片,系具有支持片、以及积层于前述支持片的第1面侧的保护膜形成膜;前述支持片的第2面之算术平均粗度(Ra1)为0.2μm以上;将前述支持片以130℃加热2小时后,前述支持片的第2面之算术平均粗度(Ra2)为0.25μm以下。
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地址 |
日本 |