| 发明名称 |
计算晶圆检测 |
| 摘要 |
中揭示一种用于一器件制造制程之电脑实施之缺陷预测方法，该器件制造制程涉及将一设计布局的一部分处理至一基板上，该方法包含：自该设计布局之该部分识别一热点；针对该热点判定该器件制造制程之一处理参数之值的一范围，其中在该处理参数具有在该范围之外的一值时，藉由该器件制造制程自该热点产生一缺陷；判定该处理参数之一实际值；使用该实际值判定或预测藉由该器件制造制程自该热点产生之一缺陷的存在、存在机率、一特性或其一组合。
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| 申请公布号 |
TW201602821 |
申请公布日期 |
2016.01.16 |
| 申请号 |
TW104118649 |
申请日期 |
2015.06.09 |
| 申请人 |
ＡＳＭＬ荷兰公司 |
发明人 |
佛奎特 克里斯多菲 大卫;凯斯川普 伯纳多;丹 包伊夫 亚历 杰福瑞;马肯斯 乔纳斯 凯瑟尼斯 哈伯特斯;卡瓦那 詹姆士 班乃迪克;库曼 詹姆士 派崔克;柯兰斯 尼尔 派克 |
| 分类号 |
G06F19/24(2011.01);G06Q10/04(2012.01);G06F17/50(2006.01);G06F7/20(2006.01);H01L21/66(2006.01) |
主分类号 |
G06F19/24(2011.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
林嘉兴 |
| 主权项 |
一种用于一器件制造制程之电脑实施之缺陷预测方法，该器件制造制程涉及将一设计布局的一部分处理至一基板上，该方法包含：自该设计布局之该部分识别一热点；针对该热点判定该器件制造制程之一处理参数之值的一范围，其中在该处理参数具有在该范围之外的一值时，藉由该器件制造制程自该热点产生一缺陷；判定该处理参数之一实际值；使用该实际值判定或预测藉由该器件制造制程自该热点产生之一缺陷的存在、存在机率、一特性或其一组合。
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| 地址 |
荷兰 |
