检测应力之方法、训练紧密模型之方法、放松应力之方法、及运算系统

摘要

检测包括由不同材料制成之第一及第二图案之一积体电路之应力之方法可包含：决定该第一图案之一或多个应力检测点；将包括该等一或多个应力检测点之一第一应力检测点之一区域分割成多个分割区域；计算在该等分割区域之该第二图案之面积；及/或基于在该等分割区域之该第二图案之该等面积，检测由该第二图案施加至该第一图案之该第一应力检测点之一应力位准。

主权项

一种检测包括由不同材料制成之第一及第二图案之一积体电路的应力之方法，该方法包含：决定该第一图案之一或多个应力检测点；将包括该等一或多个应力检测点之一第一应力检测点之一区域分割成复数个分割区域；计算在该等分割区域之该第二图案之面积；以及基于在该等分割区域之该第二图案之该等面积，检测藉由该第二图案施加至该第一图案之该第一应力检测点之一应力位准。