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明解决手段为提供一种矽氮烷化合物的制造方法，其特征为使下述一般式(1)所示之卤矽烷化合物、R1nSiX(4-n) (1)(式中，R1系相同或相异为氢原子或碳数1~20之经取代或非经取代之1价烃基、X为卤原子，n为0~3之整数，n为2或3时，R1系彼此键结而可与此等所键结之矽原子一起形成碳数2~20之环)，与下述一般式(2)所示之含胺基之化合物、R2R3NH (2)(式中，R2、R3系氢原子或碳数1~20之经取代或非经取代之1价烃基)，或下述一般式(3)所示之含胺基之化合物进行反应，
(R4系可含有杂原子之碳数1~20之2价有机基)。，以制造矽氮烷化合物之方法中，将与目的物相同之矽氮烷化合物作为溶剂使用。
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