具有氧化锌奈米片构造层之紫外光检测器及其制造方法

摘要

具有氧化锌奈米片构造层之紫外光检测器，其包含：一基板、一形成于该基板之表面之金属电极层，该金属电极层至少包含两个电极；及一形成于该基板及该金属电极层表面且为站立片状型态之复数个氧化锌奈米片，两两相邻之间的该氧化锌奈米片形成复数个奈米间隔通道，每个该氧化锌奈米片主要朝向c轴方向(c-axis)生成；本发明所形成氧化锌奈米片构造为薄膜型态的二维奈米结构，亦即在水平的方向(X与Y轴)并未受到奈米尺度的限制，而在Z轴的方向有着奈米尺度的表现，使得本发明能广泛应用于气体感测器、光感测器或发光二极体等等元件。

主权项

一种具有氧化锌奈米片构造层之紫外光检测器，其包含： 一基板； 一形成于该基板之表面之金属电极层，该金属电极层至少包含两个电极；及 一形成于该基板及该金属电极层表面且为站立片状型态之复数个氧化锌奈米片，两两相邻之间的该氧化锌奈米片形成复数个奈米间隔通道，每个该氧化锌奈米片主要朝向c轴方向(c-axis)生成。