玻璃上晶片之接合检验设备

摘要

明提供一种玻璃上晶片接合检验设备，包括：底座；相对于底座水平设置的检验物体；安装在底座上并设置在检验物体下方的第一成像装置，其在相对于检验物体沿一个方向(扫描方向)移动的同时将可见光照射在检验物体上，以按照线扫描方法利用反射光捕捉检验物体的下部图像；安装在底座上并设置在检验物体上方的第二成像装置，其在相对于检验物体沿一个方向(扫描方向)移动的同时将红外光照射在检验物体上，以按照线扫描方法(line-scan)利用反射光捕捉检验物体的上部图像；使第一和第二成像装置沿扫描方向移动的驱动单元；以及控制驱动单元的控制装置，其将与第一和第二成像装置沿扫描方向的移动速度同步的第一和第二线性触发信号分别发送给第一和第二成像装置。

主权项

一种玻璃上晶片接合检验设备，其检验一检验物体，该设备包括：底座；第一成像装置，所述第一成像装置安装在所述底座上并且设置在所述检验物体的下方，并且所述第一成像装置在相对于所述检验物体沿着一个方向(扫描方向)移动的同时将可见光照射在所述检验物体上，以按照线扫描方法并利用反射光捕捉所述检验物体的下部图像；第二成像装置，所述第二成像装置安装在所述底座上并且设置在所述检验物体的上方，并且所述第二成像装置在相对于所述检验物体沿着一个方向(所述扫描方向)移动的同时将红外光照射在所述检验物体上，以按照线扫描方法并利用反射光捕捉所述检验物体的上部图像；驱动单元，所述驱动单元使所述第一成像装置和所述第二成像装置沿着扫描方向移动；以及控制装置，所述控制装置控制所述驱动单元，并且所述控制装置将第一线性触发信号和第二线性触发信号分别发送给所述第一成像装置和所述第二成像装置，所述第一线性触发信号和所述第二线性触发信号与所述第一成像装置和所述第二成像装置沿着所述扫描方向的移动速度同步，其中，所述控制装置基于从所述驱动单元发送的编码信号来同步所述第一线性触发信号和所述第二线性触发信号。