| 发明名称 |
使用错合Co2+金属离子还原剂之连续铂层的无电镀沉积 |
| 摘要 |
一种铂的无电镀沉积溶液。该溶液包含Co2+
离子、Pt4+
离子、及胺配位基。Co2+
比Pt4+
离子的比例系介于100：1与2：1之间。该溶液允许不需高温及高pH值之铂的无电镀沉积。该溶液允许纯铂层的沉积。 |
| 申请公布号 |
TW201602409 |
申请公布日期 |
2016.01.16 |
| 申请号 |
TW104110609 |
申请日期 |
2015.04.01 |
| 申请人 |
兰姆研究公司 |
发明人 |
诺卡斯 尤真尼加斯;史达克维淇妮 伊娜;洁格蜜妮内 艾朵娜;塔玛邵斯凯特－塔玛西奈特 洛雷塔;乔伊 阿尼律陀;多迪 叶斯帝 |
| 分类号 |
C23C18/44(2006.01);C23C18/16(2006.01) |
主分类号 |
C23C18/44(2006.01) |
| 代理机构 |
|
代理人 |
许峻荣 |
| 主权项 |
一种铂的无电镀沉积溶液，包含： Co2+
离子； Pt4+
离子；及 胺配位基。 |
| 地址 |
美国 |
