| 发明名称 |
用于形成含有掺杂剂之基材之溶液之调配物及方法 |
| 摘要 |
明描述用以形成包含掺杂剂之基材之溶液之调配物及方法。在特定实施例中，该掺杂剂可含有砷(As)或磷(P)。提供含有溶剂及含掺杂剂之分子之掺杂剂溶液。该掺杂剂溶液之该溶剂之闪点可为至少55℃。在一些情况下，该含掺杂剂之分子之分子量可不大于约300g/mol。含掺杂剂之分子之浓度相对于污染物之浓度之比可不大于约1×1010。
|
| 申请公布号 |
TW201602081 |
申请公布日期 |
2016.01.16 |
| 申请号 |
TW104114494 |
申请日期 |
2015.05.06 |
| 申请人 |
黛纳罗伊有限责任公司 |
发明人 |
怀德曼 莫妮卡 卡林;卡克斯 基思 雅伦;莫迪 雷斯里 山;刘俊佳;塔努玮得嘉嘉洁西卡;波勒 金柏莉 多娜;寇儿闹 凯萨琳 玛丽;后克史特拉 司班塞 伊瑞奇 |
| 分类号 |
C07C69/14(2006.01);C07C43/11(2006.01);C07F9/66(2006.01);C07F9/06(2006.01);C07F9/08(2006.01);C07F9/22(2006.01);C07F9/38(2006.01);C30B31/04(2006.01);H01L29/167(2006.01) |
主分类号 |
C07C69/14(2006.01) |
| 代理机构 |
|
代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
一种溶液，其包含：闪点为至少约55℃之溶剂；及包含砷或磷之含掺杂剂之分子，其中该含掺杂剂之分子之分子量不大于约300g/mol。
|
| 地址 |
美国 |
