| 发明名称 |
矽酸胶及含有其之半导体晶圆硏磨用组成物 |
| 摘要 |
明提供一种经时保存稳定性良好之表面改质矽酸胶及使用有该表面改质矽酸胶之研磨用组成物，该研磨用组成物提升研磨后之被研磨体之清洗性，防止装置之污染，进一步抑制被研磨体之刮痕或塌边(roll off)、凹陷(dishing)等问题之产生。
|
| 申请公布号 |
TW201602001 |
申请公布日期 |
2016.01.16 |
| 申请号 |
TW104113002 |
申请日期 |
2015.04.23 |
| 申请人 |
快递股份有限公司 |
发明人 |
田中弘明;田辺静顕;市川真也 |
| 分类号 |
C01B33/149(2006.01);C09C1/68(2006.01);C09C3/10(2006.01);C09G1/02(2006.01);C09K3/14(2006.01);B24B37/00(2012.01);H01L21/304(2006.01) |
主分类号 |
C01B33/149(2006.01) |
| 代理机构 |
|
代理人 |
阎启泰;林景郁 |
| 主权项 |
一种矽酸胶，其于粒子表面配置有水溶性高分子化合物，该水溶性高分子化合物于分子结构内具有2个或2个以上之由四级铵构成的官能基、及2个或2个以上之羧基。
|
| 地址 |
日本 |
