| 发明名称 |
光阻组成物及图案形成方法 |
| 摘要 |
明系关于一种光阻组成物，其包含(A)含有通式(1)所表示的重复单元之树脂成分、与(B)通式(2)所表示的光酸产生剂。(R1
、R2
表示烷基。R4
表示氢原子或甲基。A表示氢原子或三氟甲基。R101
、R102
及R103
表示氢原子或1价烃基。m、n表示0~5之整数、p表示0~4之整数。L表示单键或2价烃基)。本发明之光阻组成物可在曝光、PEB后之有机溶剂显影中得到高溶解对比度，并能以优良的真圆性且尺寸控制良好地形成微细的孔洞图案。可藉此形成微细的图案。 |
| 申请公布号 |
TW201602724 |
申请公布日期 |
2016.01.16 |
| 申请号 |
TW104116728 |
申请日期 |
2015.05.26 |
| 申请人 |
信越化学工业股份有限公司 |
发明人 |
阿达铁平;提箸正义;大桥正树;长谷川幸士;小林知洋;及川健一 |
| 分类号 |
G03F7/004(2006.01);G03F7/038(2006.01);G03F7/32(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01) |
| 代理机构 |
|
代理人 |
周良谋;周良吉 |
| 主权项 |
一种光阻组成物，其特征为包含： (A)含有下述通式(1)所表示的重复单元之树脂成分；及 (B)下述通式(2)所表示的光酸产生剂； [化32]式中，R1
、R2
各别独立地表示碳数1~3之烷基；R4
表示氢原子或甲基；A表示氢原子或三氟甲基；R101
、R102
及R103
各别独立地表示氢原子、或也可插入有杂原子之碳数1~20的直链状、分支状或环状之1价烃基；m、n各别表示0~5的整数、p表示0~4的整数；L表示单键或也可经杂原子取代、也可插入有杂原子之碳数1~20的直链状、分支状或环状之2价烃基。 |
| 地址 |
日本 |
