支撑夹具和基板处理设备

摘要

明提供一种支撑夹具和具有所述支撑夹具的基板处理设备。支撑基板的支撑夹具包含：主体，其具有内部空间；可扩展部件，其经配置以在主体的厚度方向上划分内部空间，可扩展部件安置在主体中使得通过注入到间隔开的分隔空间中的气体使可扩展部件在主体的厚度方向上移动；移动部件，其在主体的厚度方向上穿过主体的一个表面并且安置在挠性部件上；以及黏合部件，其安置在主体向外的移动部件的端部上。在基板从支撑基板的单元分离的同时，可以防止基板发生绞拧的现象。

主权项

一种支撑基板的支撑夹具，所述支撑夹具包括： 主体，其具有内部空间； 可扩展部件，其经配置以在所述主体的厚度方向上划分所述内部空间，所述可扩展部件安置在所述主体中使得通过注入到间隔开的分隔空间中的气体使所述可扩展部件在所述主体的所述厚度方向上移动； 移动部件，其在所述主体的所述厚度方向上穿过所述主体的一个表面并且安置在挠性部件上；以及 黏合部件，其安置在所述主体向外的所述移动部件的端部上。